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氮化硅工藝
- 產(chǎn)品簡介: 我公司一直從事于各種氮化材料的生產(chǎn)銷售,主營產(chǎn)品包括氮化硅,為了回報(bào)廣大用戶多年的支持,也為了進(jìn)一步拓寬氮化硅的應(yīng)用群,將與廣大用戶分享一些關(guān)于氮化硅及氮化硅工藝的相關(guān)信息。 氮化硅的化學(xué)式是Si3N4,白色粉狀晶體;熔點(diǎn)1900℃,密度3.44克/厘米
我公司一直從事于各種氮化材料的生產(chǎn)銷售,主營產(chǎn)品包括氮化硅,為了回報(bào)廣大用戶多年的支持,也為了進(jìn)一步拓寬氮化硅的應(yīng)用群,將與廣大用戶分享一些關(guān)于氮化硅及氮化硅工藝的相關(guān)信息。
氮化硅的化學(xué)式是Si3N4,白色粉狀晶體;熔點(diǎn)1900℃,密度3.44克/厘米(20℃);有兩種變體:α型為六方密堆積結(jié)構(gòu);β型為似晶石結(jié)構(gòu)。氮化硅有雜質(zhì)或過量硅時(shí)呈灰色。氮化硅與水幾乎不發(fā)生作用;在濃強(qiáng)酸溶液中緩慢水解生成銨鹽和二氧化硅;易溶于氫氟酸,與稀酸不起作用。濃強(qiáng)堿溶液能緩慢腐蝕氮化硅,熔融的強(qiáng)堿能很快使氮化硅轉(zhuǎn)變?yōu)楣杷猁}和氨。氮化硅在 600℃以上能使過渡金屬(見過渡元素)氧化物、氧化鉛、氧化鋅和二氧化錫等還原,并放出氧化氮和二氧化氮。
氮化硅的晶胞參數(shù)與單質(zhì)硅不同。因此根據(jù)沉積方法的不同,生成的氮化硅薄膜會(huì)有產(chǎn)生張力或應(yīng)力。特別是當(dāng)使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)時(shí),能通過調(diào)節(jié)沉積參數(shù)來減少張力。利用溶膠凝膠法制備出二氧化硅,然后同時(shí)利用碳熱還原法和氮化對其中包含特細(xì)碳粒子的硅膠進(jìn)行處理后得到氮化硅納米線。硅膠中的特細(xì)碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解產(chǎn)生的,如果您想了解更多氮化硅工藝,歡迎聯(lián)系我們。
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